根据本发明的示例性方面,提供了一种装置。
该装置包括:微机电MEMS电容器,该MEMS电容器包括两个板和位于两个板之间的间隙;气体输送器,该气体输送器被配置成使气体流过该间隙;以及读出电路,该读出电路被配置为测量MEMS电容器的电容。
P·科普嫩 T·西岚帕 马克库·于利拉米
芬兰国家技术研究中心股份公司
芬兰埃斯波
根据本发明的示例性方面,提供了一种装置。
该装置包括:微机电MEMS电容器,该MEMS电容器包括两个板和位于两个板之间的间隙;气体输送器,该气体输送器被配置成使气体流过该间隙;以及读出电路,该读出电路被配置为测量MEMS电容器的电容。