本发明公开了面向微加工的竖直稳定加载对称型微悬臂设计及应用方法，主要包括以下步骤：设计满足竖直加载要求的微悬臂方案；测量传统矩形微悬臂的尺寸，根据测量数据进行对称型悬臂尺寸设计，并以截面惯性矩、悬臂长度为变量，以弹性系数及应力值为结果，利用有限元仿真分析，建立尺寸数据库；基于检测仪器精度、实验台空间、材料应力极限、悬臂使用频率等条件选择数据库中满足要求的尺寸；采用本发明提出的方法设计、加工出的悬臂，能实现微悬臂的竖直加载，消除水平滑移，提高了采用微悬臂结构的扫描探针加工技术的测量与加工精度，为微纳加工产品质量提供了技术支持。

陈磊 梁惠康 石鹏飞 郭杰 钱林茂 陈超

西南交通大学

610031 四川省成都市金牛区二环路北一段111号

本发明公开了面向微加工的竖直稳定加载对称型微悬臂设计及应用方法，主要包括以下步骤：设计满足竖直加载要求的微悬臂方案；测量传统矩形微悬臂的尺寸，根据测量数据进行对称型悬臂尺寸设计，并以截面惯性矩、悬臂长度为变量，以弹性系数及应力值为结果，利用有限元仿真分析，建立尺寸数据库；基于检测仪器精度、实验台空间、材料应力极限、悬臂使用频率等条件选择数据库中满足要求的尺寸；采用本发明提出的方法设计、加工出的悬臂，能实现微悬臂的竖直加载，消除水平滑移，提高了采用微悬臂结构的扫描探针加工技术的测量与加工精度，为微纳加工产品质量提供了技术支持。