本发明提出了一种电化学蚀刻实验装置，包括上壳体、下壳体、阳极、阴极、电解液泵、三通球阀、储液箱、压力表、进液管、回液管、调节管和加工电源；上壳体设有上腔体，下壳体设有下腔体；阳极通过阳极座安装在上腔体内，阴极通过阴极座安装在下腔体；电解液泵的进液口与储液箱连接且其出液口与三通球阀连接，三通球阀与压力表连接，三通球阀与调节管一端连接且调节管另一端与储液箱连接，进液管一端与电解液通道连通且其另一端与三通接头的出液口连接，回液管一端与电解液通道连通且其另一端与储液箱连接。
本发明可对电化学蚀刻工艺参数如加工电压、电流密度、电解液压力、加工间隙进行调整，可有效缩短实验周期且成本低廉。

陈远龙 陈培譞 程壮壮 徐鹏 张聚臣

合肥工业大学

230000 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

本发明提出了一种电化学蚀刻实验装置，包括上壳体、下壳体、阳极、阴极、电解液泵、三通球阀、储液箱、压力表、进液管、回液管、调节管和加工电源；上壳体设有上腔体，下壳体设有下腔体；阳极通过阳极座安装在上腔体内，阴极通过阴极座安装在下腔体；电解液泵的进液口与储液箱连接且其出液口与三通球阀连接，三通球阀与压力表连接，三通球阀与调节管一端连接且调节管另一端与储液箱连接，进液管一端与电解液通道连通且其另一端与三通接头的出液口连接，回液管一端与电解液通道连通且其另一端与储液箱连接。
本发明可对电化学蚀刻工艺参数如加工电压、电流密度、电解液压力、加工间隙进行调整，可有效缩短实验周期且成本低廉。