【课题】提供一种掩膜制造装置以及使用该掩膜制造装置的掩膜制造方法，其能够制造出：掩膜图案开口部不会产生变形的，能够抑制掩膜图案开口部的纵方向与横方向之间出现尺寸偏差掩膜。
【解决手段】本发明的掩膜制造装置20以及掩膜制造方法，具有：掩膜片保持部25，配置在掩膜开口部8中，并且具有磁吸盘53，能够在对掩模图案形成区域6的外侧边缘部2a进行磁吸附的吸附状态与非吸附状态之间进行切换；对准摄像头27，用于检测在每个掩膜片2上设置的多个对准孔7相对于玻璃母板26上设置的多个对准记号63的偏移量；粗动平台51以及细动平台52，移动掩膜片保持部25从而对偏移量进行补正；以及作为接合装置的焊接机器人28A、28B，将掩膜图案形成区域6的外侧边缘部2a与掩膜开口部8的外侧边缘部3a接合。

浅野邦一 福居克幸 土桥美博

株式会社饭沼GAUGE制作所

日本国长野县茅野市玉川字原山11400番地1078

【课题】提供一种掩膜制造装置以及使用该掩膜制造装置的掩膜制造方法，其能够制造出：掩膜图案开口部不会产生变形的，能够抑制掩膜图案开口部的纵方向与横方向之间出现尺寸偏差掩膜。
【解决手段】本发明的掩膜制造装置20以及掩膜制造方法，具有：掩膜片保持部25，配置在掩膜开口部8中，并且具有磁吸盘53，能够在对掩模图案形成区域6的外侧边缘部2a进行磁吸附的吸附状态与非吸附状态之间进行切换；对准摄像头27，用于检测在每个掩膜片2上设置的多个对准孔7相对于玻璃母板26上设置的多个对准记号63的偏移量；粗动平台51以及细动平台52，移动掩膜片保持部25从而对偏移量进行补正；以及作为接合装置的焊接机器人28A、28B，将掩膜图案形成区域6的外侧边缘部2a与掩膜开口部8的外侧边缘部3a接合。