一种用于热处理设备的冷却装置及包括该冷却装置的热处理设备，冷却装置包括通过管道依次连接的风门、热交换器、风机和进气阀，风门用于连接至热处理设备的排气口，进气阀用于连接至热处理设备的进气口。
冷却装置可以实现空气循环利用，不使用净化间内的空气，因此不会造成净化间内压力下降，避免影响本机台和其他机台的工艺，有效保证了产品质量，也不会造成净化间内空气浪费，降低制造成本。

邱江虹 刘红丽

北京北方华创微电子装备有限公司

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一种用于热处理设备的冷却装置及包括该冷却装置的热处理设备，冷却装置包括通过管道依次连接的风门、热交换器、风机和进气阀，风门用于连接至热处理设备的排气口，进气阀用于连接至热处理设备的进气口。
冷却装置可以实现空气循环利用，不使用净化间内的空气，因此不会造成净化间内压力下降，避免影响本机台和其他机台的工艺，有效保证了产品质量，也不会造成净化间内空气浪费，降低制造成本。