本发明公开了一种氮化物晶体的生长装置及方法,包括反应釜和设在该反应釜内的坩埚,反应釜外围设有加热器,所述坩埚内设有隔板,该隔板将该坩埚内部空间分隔成相互独立的生长区和预生长区,生长区底部放置有籽晶,隔板下部设有导通孔,该导通孔使生长区和预生长区相互连通,隔板与坩埚底面的夹角为大于0度且小于或等于90度。
通过对反应釜的倾斜操作,使得生长区和预生长区的溶液互相流动交换,使得籽晶区域的生长溶液的含N浓度较高,使氮化物晶体在源源不断的高N浓度生长溶液下高质量高速率生长。
陈蛟 李成明 刘南柳 巫永鹏 郑小平 李顺峰 张国义
北京大学东莞光电研究院
523000 广东省东莞市松山湖创新科技园1号楼418室
本发明公开了一种氮化物晶体的生长装置及方法,包括反应釜和设在该反应釜内的坩埚,反应釜外围设有加热器,所述坩埚内设有隔板,该隔板将该坩埚内部空间分隔成相互独立的生长区和预生长区,生长区底部放置有籽晶,隔板下部设有导通孔,该导通孔使生长区和预生长区相互连通,隔板与坩埚底面的夹角为大于0度且小于或等于90度。
通过对反应釜的倾斜操作,使得生长区和预生长区的溶液互相流动交换,使得籽晶区域的生长溶液的含N浓度较高,使氮化物晶体在源源不断的高N浓度生长溶液下高质量高速率生长。