本发明提供了一种晶体硅的制备方法,包括:在坩埚中填装熔融状态的硅熔体,然后调节温度,进入长晶阶段,在长晶过程中,向坩埚内持续或间断地通入空气直至长晶结束,所述空气的流量为1L/min‑6L/min,经退火冷却后,得到晶体硅。
本发明提供的晶体硅的制备方法,通过在晶体硅制备的长晶阶段通入空气,减少了晶体硅中的碳和碳化硅杂质含量,提高了晶体硅的出材率,降低了晶体硅的位错。
本发明还提供了一种晶体硅,该晶体硅位错较少,少子寿命较高,质量较好。
陈红荣 胡动力 徐云飞 孙庚昕 何亮
江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室
本发明提供了一种晶体硅的制备方法,包括:在坩埚中填装熔融状态的硅熔体,然后调节温度,进入长晶阶段,在长晶过程中,向坩埚内持续或间断地通入空气直至长晶结束,所述空气的流量为1L/min‑6L/min,经退火冷却后,得到晶体硅。
本发明提供的晶体硅的制备方法,通过在晶体硅制备的长晶阶段通入空气,减少了晶体硅中的碳和碳化硅杂质含量,提高了晶体硅的出材率,降低了晶体硅的位错。
本发明还提供了一种晶体硅,该晶体硅位错较少,少子寿命较高,质量较好。