一种砷化镓多晶合成装置,包括从外到内依次设置的合成炉体、石墨保温罩和石墨坩埚，石墨坩埚内设有若干氮化硼坩埚，石墨坩埚的底部连接有石墨坩埚杆，石墨坩埚和石墨保温罩之间设有加热器，所述加热器为环形，加热器沿周向分布在石墨坩埚的外侧，所述石墨保温罩的内壁从上到下设有若干个保温罩环形凸台，加热器的外壁上设有若干个加热器环形凸台，保温罩环形凸台与加热器环形凸台的位置相适配；本实用新型能及早发现石墨坩埚和加热器的触碰，防止触碰的幅度变大，甚至变为加热器和石墨保温罩的触碰，避免发生事故。

杨向东 李玉平 侯利伟 李晓

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一种砷化镓多晶合成装置,包括从外到内依次设置的合成炉体、石墨保温罩和石墨坩埚，石墨坩埚内设有若干氮化硼坩埚，石墨坩埚的底部连接有石墨坩埚杆，石墨坩埚和石墨保温罩之间设有加热器，所述加热器为环形，加热器沿周向分布在石墨坩埚的外侧，所述石墨保温罩的内壁从上到下设有若干个保温罩环形凸台，加热器的外壁上设有若干个加热器环形凸台，保温罩环形凸台与加热器环形凸台的位置相适配；本实用新型能及早发现石墨坩埚和加热器的触碰，防止触碰的幅度变大，甚至变为加热器和石墨保温罩的触碰，避免发生事故。