本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺，包括如下步骤：步骤一，采用碱性抛光液对多晶硅片进行化学抛光处理；步骤二，采用镀挖一体处理液对抛光后的硅片进行挖孔处理，在硅片表面制备出纳米孔洞；步骤三，采用脱银处理液对挖孔后的多晶硅片进行脱银处理，脱除硅片表面银颗粒；步骤四，采用扩孔处理液对脱银处理后的硅片进行扩孔处理，在硅片表面形成亚微米或微米级的孔洞。
本发明通过对抛光、镀银挖孔、脱银、扩孔的合理控制，使得整个黑硅制绒过程便于控制，简化了制绒步骤，节省槽体数量和设备空间，降低了成本；提高开路电压，提高了组件的CTM；通过优化镀银添加剂组分，降低银含量，配合合理的污水处理工艺，降低了废液处理成本。

刘瑞鸿 姬俊杰 冯永康 余刚 常传波

镇江仁德新能源科技有限公司 镇江荣德新能源科技有限公司

212210 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号

本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺，包括如下步骤：步骤一，采用碱性抛光液对多晶硅片进行化学抛光处理；步骤二，采用镀挖一体处理液对抛光后的硅片进行挖孔处理，在硅片表面制备出纳米孔洞；步骤三，采用脱银处理液对挖孔后的多晶硅片进行脱银处理，脱除硅片表面银颗粒；步骤四，采用扩孔处理液对脱银处理后的硅片进行扩孔处理，在硅片表面形成亚微米或微米级的孔洞。
本发明通过对抛光、镀银挖孔、脱银、扩孔的合理控制，使得整个黑硅制绒过程便于控制，简化了制绒步骤，节省槽体数量和设备空间，降低了成本；提高开路电压，提高了组件的CTM；通过优化镀银添加剂组分，降低银含量，配合合理的污水处理工艺，降低了废液处理成本。