本发明提供一种集尘罐、单晶生长设备及单晶生长方法。
集尘罐包括：罐体；过滤装置，位于罐体内；过滤装置包括隔离盘及至少一个过滤芯；过滤芯一端与隔离盘相连接且过滤芯的开口暴露于隔离盘的表面，另一端向罐体的下部延伸；进气口位于罐体下部的侧壁上，排气口位于罐体上部的侧壁上；清洁装置，位于罐体内；清洁装置包括连接杆、固定板及清洁单元；驱动装置，与清洁装置的连接杆相连接，用于驱动清洁装置上下移动以对过滤芯的侧壁进行清洁。
本发明的集尘罐可以在每次工艺生产结束后，利用其自带的清洁装置对过滤芯表面进行清洁，有助于提高过滤芯表面的清洁度、延长真空泵的使用寿命，有利于降低人力成本和保障人员健康。

赵旭良

上海新昇半导体科技有限公司

201306 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室

本发明提供一种集尘罐、单晶生长设备及单晶生长方法。
集尘罐包括：罐体；过滤装置，位于罐体内；过滤装置包括隔离盘及至少一个过滤芯；过滤芯一端与隔离盘相连接且过滤芯的开口暴露于隔离盘的表面，另一端向罐体的下部延伸；进气口位于罐体下部的侧壁上，排气口位于罐体上部的侧壁上；清洁装置，位于罐体内；清洁装置包括连接杆、固定板及清洁单元；驱动装置，与清洁装置的连接杆相连接，用于驱动清洁装置上下移动以对过滤芯的侧壁进行清洁。
本发明的集尘罐可以在每次工艺生产结束后，利用其自带的清洁装置对过滤芯表面进行清洁，有助于提高过滤芯表面的清洁度、延长真空泵的使用寿命，有利于降低人力成本和保障人员健康。