本发明提供一种晶体生长炉，包括腔室、坩埚及通气结构，坩埚设置于腔室内，通气结构包括通气管路和设置在腔室中的汇流室；通气管路的进气口开设于腔室的底壁上，通气管路穿过腔室的底壁，与汇流室相连通；汇流室设置于坩埚的下方，与坩埚的底壁固定连接，用以将通气管路内的工艺气体汇聚至坩埚的底壁。
应用本申请，提升了参与反应的工艺气体的均匀性，从而提高了工艺结果的重复性和稳定性，且可以满足通气操作的实时性，提升了设备调试窗口的确定性。

郭雪娇

北京北方华创微电子装备有限公司

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种晶体生长炉，包括腔室、坩埚及通气结构，坩埚设置于腔室内，通气结构包括通气管路和设置在腔室中的汇流室；通气管路的进气口开设于腔室的底壁上，通气管路穿过腔室的底壁，与汇流室相连通；汇流室设置于坩埚的下方，与坩埚的底壁固定连接，用以将通气管路内的工艺气体汇聚至坩埚的底壁。
应用本申请，提升了参与反应的工艺气体的均匀性，从而提高了工艺结果的重复性和稳定性，且可以满足通气操作的实时性，提升了设备调试窗口的确定性。