一种立式扩散炉导气装置

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来自马-克-数-据-官网 。1.一种立式扩散炉导气装置，包括立式扩散炉本体(1)，其特征在于：所述立式扩散炉本体(1)的内侧固定有第一固定板(2)，所述第一固定板(2)之间通过轴承转动安装有第一转轴(3)，所述第一转轴(3)的内部开设有内腔(4)，所述内腔(4)的内侧开设有出气口(5)，所述第一转轴(3)的顶部固定有第一锥形齿轮(6)，所述立式扩散炉本体(1)内侧的顶部固定有伺服电机(7)，所述伺服电机(7)的输出端固定有第二转轴(8)，所述第二转轴(8)的外壁固定有第二锥形齿轮(9)，所述第二锥形齿轮(9)与第一锥形齿轮(6)啮合连接，所述立式扩散炉本体(1)外侧的底部固定有气泵(11)，所述气泵(11)的出气端连接有第一进气管(10)，所述第一进气管(10)的端部贯穿立式扩散炉本体(1)一侧的底部，且第一进气管(10)的外壁与立式扩散炉本体(1)一侧的内壁固定连接，所述第一进气管(10)端部的内侧通过密封轴承与第一转轴(3)的下端转动连接，所述气泵(11)的进气端连接有第二进气管(12)。