一种去胶工艺腔室内旋转机构的防水罩结构

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沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于半导体去胶工艺设备技术领域，具体地说是一种去胶工艺腔室内旋转机构的防水罩结构，包括防水罩主体，防水罩主体的顶面中部设置有中心凸台部，中心凸台部的顶面的高度位置高于防水罩主体的顶面的高度位置，中心凸台部的中心处开设有转接轴穿过孔，转接轴穿过孔与防水罩主体内侧的容纳空间相连通，中心凸台部的外周面顶部向外周延伸凸设有横向阻挡边沿，横向阻挡边沿的下表面与防水罩主体的顶面之间具有间隙A。本实用新型通过横向阻挡边沿的设置，可起到阻挡药水的作用，避免药水直接顺中心凸台部外周面及顶面与转接轴的弯折边沿部之间的缝隙流入转接轴穿过孔、并进入容纳空间以及到达与转接轴连接的电机所在区域。