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碳化硅晶片在线清洗导流槽
摘要文本
南京青锐风新材料科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及硅晶片清洗技术领域，且公开了碳化硅晶片在线清洗导流槽，包括：槽体、支架、清洗篮、导流组件和驱动组件，支架安装在槽体内，清洗篮置于槽体内，导流组件与驱动组件均安装在支架上，通过导流组件驱使槽体内部的清洗剂上下流动，通过驱动组件驱使导流组件运转。本实用新型，在整个使用过程中，是通过导流组件使槽体内部的清洗剂上下流动来带动硅晶片表面的脏污，这种结构下，相邻硅晶片之间的脏污将可以有效被冲走，从而可以有效提升清洗效率和清洗效果，并且，由于槽体内部的清洗是不断从导流槽主体上的出液孔流过的，这样一来，清洗剂内包含的脏污还会被出液孔截留，从而可以避免脏污重新回到硅晶片表面，有效保证清洗效果。
专利主权项内容
1.碳化硅晶片在线清洗导流槽，其特征在于，包括：槽体(1)、支架(2)、清洗篮(3)、导流组件和驱动组件，支架(2)安装在槽体(1)内，清洗篮(3)置于槽体(1)内，导流组件与驱动组件均安装在支架(2)上，通过导流组件驱使槽体(1)内部的清洗剂上下流动，通过驱动组件驱使导流组件运转，所述导流组件包括导流槽主体(4)和叶轮(5)，导流槽主体(4)固定安装在支架(2)上，导流槽主体(4)下表面开设有进液口(6)，叶轮(5)转动安装在导流槽主体(4)内，且处于进液口(6)的上方，导流槽主体(4)的上表面开设有若干出液孔(7)，清洗篮(3)置于导流槽主体(4)上，且处于出液孔(7)上方，所述槽体(1)的底部安装有排液管(14)，且排液管(14)的中间安装有电控阀门，槽体(1)的底部安装有设备座(15)，设备座(15)内置电加热器和超声波震动器。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 碳化硅晶片在线清洗导流槽 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420880658.5 |
| 申请日 | 2024/4/25 |
| 公告号 | CN222281940U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 南京青锐风新材料科技有限公司 |
| 发明人 | 尹宏锐; 李晨; 刘刚; 夏杰 |
| 地址 | 江苏省南京市南京市江宁经济技术开发区胜太路68号 |