一种基于碳纳米管的薄膜晶体管结构

专利主权项内容

1.一种基于碳纳米管的薄膜晶体管结构，其特征在于，包括：
外延层(1)，所述外延层(1)的表面开设有占位槽(2)；
衬底层(3)，所述衬底层(3)的顶部与外延层(1)的底部固定连接；
金属层(4)，所述金属层(4)的顶部与衬底层(3)的底部固定连接，所述金属层(4)的材质为铝；
高K介电材质(5)，所述高K介电材质(5)位于外延层(1)的顶部，并且与其固定连接，所述高K介电材质(5)的形状为矩形；
栅极材料(6)，所述栅极材料(6)位于高K介电材质(5)的顶部，并且与之固定连接；
漏极材料(7)，所述漏极材料(7)的一侧与栅极材料(6)的表面固定连接；
源极材料(8)，所述源极材料(8)的一侧与栅极材料(6)的表面固定连接。