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一种金刚石生长的MPCVD基片台
申请人信息
- 申请人:郑州势垒科技有限公司
- 申请人地址:451162 河南省郑州市航空港区经济综合实验区如云路与梅河路叉口恒丰科创中心11号楼2楼
- 发明人: 郑州势垒科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种金刚石生长的MPCVD基片台 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420720802.9 |
| 申请日 | 2024/4/9 |
| 公告号 | CN222043347U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | C23C16/458 |
| 权利人 | 郑州势垒科技有限公司 |
| 发明人 | 许成志; 郭森森; 曾献伟 |
| 地址 | 河南省郑州市航空港区经济综合实验区如云路与梅河路叉口恒丰科创中心11号楼2楼 |
摘要文本
郑州势垒科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种金刚石生长的MPCVD基片台，包括底盘、顶盘、中间盘和水冷台，底盘和顶盘之间通过多个导向轴连接，中间盘位于底盘和顶盘之间且与导向轴滑动配合，中间盘和底盘之间设有用于带动中间盘升降的升降机构；顶盘上设有上端开口的外壳，水冷台可上下滑动的设置在外壳内，水冷台下端设有滑动贯穿顶盘且与中间盘固定连接的连接件。本申请通过升降机构带动中间盘升降，从而带动水冷台上下升降，从而能够精确控制金刚石的生长位置，确保金刚石在基片表面的均匀性和一致性。 来源：
专利主权项内容
1.一种金刚石生长的MPCVD基片台，其特征在于，包括底盘(1)、顶盘(3)、中间盘(2)和水冷台(8)，底盘(1)和顶盘(3)之间通过多个导向轴(4)连接，中间盘(2)位于底盘(1)和顶盘(3)之间且与导向轴(4)滑动配合，中间盘(2)和底盘(1)之间设有用于带动中间盘(2)升降的升降机构；
顶盘(3)上设有上端开口的外壳(31)，水冷台(8)可上下滑动的设置在外壳(31)内，水冷台(8)下端设有滑动贯穿顶盘(3)且与中间盘(2)固定连接的连接件(7)。。该数据由<>整理