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检测托盘

申请号: CN202420870476.X
申请人: 甬矽半导体(宁波)有限公司
更新日期: 2026-05-18

摘要文本

甬矽半导体(宁波)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型提供一种检测托盘,涉及基板检测领域,该检测托盘包括静电板和承载治具,承载治具采用绝缘材料制成,且承载治具的一侧表面设置有用于承载基板的承载台面,静电板采用导电材料制成,并可拆卸地贴附在承载治具远离承载台面的一侧,用于消除承载治具周围的静电。相较于现有技术,本实用新型通过采用绝缘材料承载基板,能够减少静电的产生,而增设静电板,能够消除治具周围的静电,从而避免检查基板时受到静电击穿导致基板上的器件受到影响。

专利主权项内容

1.一种检测托盘,其特征在于,包括静电板和承载治具,所述承载治具采用绝缘材料制成,且所述承载治具的一侧表面设置有用于承载基板的承载台面,所述静电板采用导电材料制成,并可拆卸地贴附在所述承载治具远离所述承载台面的一侧,用于消除所述承载治具周围的静电。 关注公众号

专利申请信息

项目 内容
专利名称 检测托盘
专利类型 实用新型
申请号 CN202420870476.X
申请日 2024/4/25
公告号 CN222233617U
公开日 2024/12/24
IPC主分类号 H01L21/687
权利人 甬矽半导体(宁波)有限公司
发明人 何正鸿; 汪明进; 魏宇晖; 陈泽
地址 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号