一种半导体处理装置

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无锡华瑛微电子技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种半导体处理装置，包括第一腔体、第二腔体和升降装置，所述升降装置包括气缸和托盘，所述气缸设置于所述第二腔体内部的容纳空间内，所述气缸的伸缩杆穿过所述连接通道向外伸出所述第二腔体，所述托盘的顶部可拆卸的设置有晶圆承载件，所述晶圆承载件的顶部高于所述升降装置的顶部。本实用新型具有方便维护清洗、减少晶圆和托盘的接触面积、避免晶圆间交叉污染的优点。