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一种晶圆抓取机构
摘要文本
上海大族富创得科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是指一种晶圆抓取机构，包括底座以及顶板，所述顶板采用连接部件铰接于底座，所述底座设置有用于放置物料的支撑区，所述顶板的一端设置有压紧部，所述压紧部位于支撑区的上方，所述顶板的另一端连接有驱动件，所述驱动件带动顶板前后移动靠近或远离底座，以实现对物料平行夹取或松开动作，所述底座远离驱动件的一端对称设有至少两个支撑臂，所述支撑臂上设有吸附区。本实用新型通过驱动件带动顶板前后移动靠近或远离底座，以实现对物料平行夹取或松开动作，能够将压紧部向支撑区移动从而压紧晶圆，防止晶圆受到水平方向的作用力，避免晶圆在左右相对位置偏离，防止取放位置偏离，提高设备精度。 微信公众号
专利主权项内容
1.一种晶圆抓取机构，其特征在于：包括底座(1)以及顶板(2)，所述顶板(2)采用连接部件铰接于底座(1)，所述底座(1)设置有用于放置物料的支撑区(101)，所述顶板(2)的一端设置有压紧部(201)，所述压紧部(201)位于支撑区(101)的上方，所述顶板(2)的另一端连接有驱动件(202)，所述驱动件(202)带动顶板(2)前后移动靠近或远离底座(1)，以实现对物料平行夹取或松开动作，所述底座(1)远离驱动件(202)的一端对称设有至少两个支撑臂(102)，所述底座(1)上设有吸附区(1021)。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆抓取机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420957424.6 |
| 申请日 | 2024/5/7 |
| 公告号 | CN222233618U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 上海大族富创得科技股份有限公司 |
| 发明人 | 苏昌全; 李博 |
| 地址 | 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室 |