一种加热装置及半导体处理设备

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中微半导体设备(上海)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开一种加热装置及半导体处理设备。加热装置包括光缆，以及连接光缆末端的光投射器，所述光投射器沿光缆的出射光方向依次排布的准直部、扩束部、修正部和分光部；所述准直部用于将光缆的出射光转变为第一平行光；所述扩束部用于将所述第一平行光变成直径更大的第二平行光；所述修正部用于将所述第二平行光的中心光能量向边缘移动，形成第三平行光；所述分光部用于将所述第三平行光折射后转化为环形光，以向待加热面投射光密度均匀的环形光斑。通过可调环形光源，改善在环型区域的加热均匀性。