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一种晶圆清洗装置
摘要文本
上海积塔半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种晶圆清洗装置，包括第一壳体、盖体、基台和多个抽气管路，第一壳体和盖体共同围成清洗腔室；基台位于第一壳体的底部，用于承载晶圆；多个抽气管路设置在基台下方，每个抽气管路均有一个抽气口，多个抽气口围绕基台均匀排布。在抽气过程中，多个抽气管路在晶圆下方产生的吸力基本相同，从而避免了等离子气体在轰击晶圆表面时出现离子流分布不均的情况，使晶圆被刻蚀清洗的更加均匀，提高了工艺良率。。微信公众号
专利主权项内容
1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：
第一壳体，所述第一壳体具有朝上的开口；
盖体，位于所述第一壳体的上方，所述盖体的开口朝向所述第一壳体，所述盖体与所述第一壳体共同围成清洗腔室；
基台，位于所述第一壳体的底部，用于承载晶圆；
多个抽气管路，设置于所述基台下方，每个所述抽气管路均有一个抽气口，多个所述抽气口围绕所述基台均匀排布；
等离子发生装置，用于在所述清洗腔室中产生等离子体。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420047775.3 |
| 申请日 | 2024/1/9 |
| 公告号 | CN222146147U |
| 公开日 | 2024/12/10 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 上海积塔半导体有限公司 |
| 发明人 | 陈建国; 闫晓晖; 单翌 |
| 地址 | 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号 |