一种基于光学检测晶圆外观缺陷检测系统及其方法

专利主权项内容

1.一种基于光学检测晶圆外观缺陷检测系统，其特征在于：包括：数据采集模块、图像预处理模块、特征图像提取模块、瑕疵区域参数获取模块、晶圆外观分析模块、晶圆尺寸分析模块、晶圆表面冗余物分析模块，以及综合判断模块；所述数据采集模块使用光学设备对晶圆进行拍照、扫描处理，获取晶圆的图像，并将获取到的晶圆图像传输至图像预处理模块；所述图像预处理模块基于数据采集模块采集到的晶圆图像，对晶圆图像进行预处理，并将预处理后的晶圆图像传输至特征图像提取模块；所述特征图像提取模块基于图像预处理模块预处理后得到的晶圆图像，对预处理后的晶圆图像进行细分瑕疵提取，并将提取得到的细分瑕疵传输至瑕疵区域参数获取模块；所述瑕疵区域参数获取模块基于特征图像提取模块提取得到的细分瑕疵，获取晶圆外观参数、晶圆尺寸参数和晶圆表面冗余物参数；所述晶圆外观分析模块基于瑕疵区域参数获取模块获取到的晶圆外观参数，经过缺陷检测数学模型计算得出晶圆外观系数，并将晶圆外观系数传输至综合判断模块；所述晶圆尺寸分析模块基于瑕疵区域参数获取模块获取到的晶圆尺寸参数，经过尺寸检测数学模型计算得出晶圆尺寸系数，并将晶圆尺寸系数传输至综合判断模块；所述晶圆表面冗余物分析模块基于瑕疵区域参数获取模块获取到的晶圆表面冗余物参数，经过冗余物检测数学模型计算得出晶圆表面冗余物系数，并将晶圆表面冗余物系数传输至综合判断模块；所述综合判断模块基于晶圆外观系数、晶圆尺寸系数和晶圆表面冗余物系数计算得出晶圆缺陷分析综合指数，并将晶圆缺陷分析综合指数与缺陷分析阈值对比，判断晶圆正常与否以及晶圆的缺陷类别。