一种CVD尾气处理设备
申请人信息
- 申请人:南京华瑞微集成电路有限公司
- 申请人地址:210000 江苏省南京市浦口区江浦街道浦滨大道88号
- 发明人: 南京华瑞微集成电路有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种CVD尾气处理设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311474440.6 |
| 申请日 | 2023/11/8 |
| 公告号 | CN117504540A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | B01D53/18 |
| 权利人 | 南京华瑞微集成电路有限公司 |
| 发明人 | 余洪飞; 诸利民; 胡振华 |
| 地址 | 江苏省南京市浦口区江浦街道浦滨大道88号 |
摘要文本
本申请公开了一种CVD尾气处理设备，涉及废气处理技术领域，包括降温过滤设备、等温裂解炉和后期综合处理设备；降温过滤设备包括降温模块、油过滤装置和干燥过滤器；所述油过滤装置顶部与降温模块连通，底部与沉积管组件连通；通过对现有技术进行优化改进，将尾气分流使其间歇性的进入不同的承载箱进而减缓尾气在处理过程中的流速；利用密布小孔的弹性膜与承载箱配合向承载箱内部喷入油雾进而对尾气中的焦油等大分子进行降温和吸附；使用时定期控制弹性膜移位实现弹性膜的自动更换；实现了CVD尾气处理设备能够对吸附用油重复利用、耗油量少、对尾气中的焦油等大分子祛除效果相对较好且不易污染干燥过滤器的技术效果。
专利主权项内容
1.一种CVD尾气处理设备，包括降温过滤设备、等温裂解炉和后期综合处理设备；降温过滤设备包括降温模块(001)、油过滤装置和干燥过滤器(006)；其特征在于：所述油过滤装置顶部与降温模块(001)连通，底部与沉积管组件连通；所述油过滤装置包括承载箱(110)、条形囊体(120)、耗材存储箱(140)、弹性膜组件(150)和泵送组件(170)；所述承载箱(110)被隔板体(116)分隔成多个处理空间，顶部设有气体入口，底部设有气体出口；承载箱(110)端面上设有穿入通槽(117)，侧壁上设有多个注入管(118)；所述承载箱(110)的两侧均设有一个内置卷筒组件(141)的耗材存储箱(140)；隔板体(116)的贴近承载箱(110)的内侧壁的面上、上盖板(112)上和下盖板(113)上均固定有内置磁粉或铁粉的条形囊体(120)；承载箱(110)外侧壁设有吸附条(121)；所述弹性膜组件(150)整体为卷轴形，数量为两个，定位在卷筒组件(141)上，分别紧贴承载箱(110)的两个内侧壁设置，包括密布喷油孔的带状薄膜(152)；吸附条(121)通电时，条形囊体(120)在挤压带状薄膜(152)形成多个矩形的袋形空间；油过滤装置的下方定位有承载桶组件(300)；泵送组件(170)将承载桶组件(300)内的油液泵入袋形空间。。来源：马 克 数 据 网