一种超声雾化沉积金属颗粒的装置及其使用方法
申请人信息
- 申请人:南京航空航天大学
- 申请人地址:210016 江苏省南京市御道街29号
- 发明人: 南京航空航天大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种超声雾化沉积金属颗粒的装置及其使用方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311127868.3 |
| 申请日 | 2023/9/2 |
| 公告号 | CN117444215A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | B22F9/08 |
| 权利人 | 南京航空航天大学 |
| 发明人 | 李阳; 石乐欣; 徐迟; 戴振东 |
| 地址 | 江苏省南京市秦淮区御道街29号 |
摘要文本
本发明公开了一种超声雾化沉积金属颗粒的装置及其使用方法。涉及超声雾化技术领域,其中,超声雾化沉积金属颗粒的装置包括:箱体的顶部开设有通孔,样品放置台上设置有待沉积金属颗粒的基底,基底位于通孔的正下方;旋转定位器可旋转的设置在箱体的顶部,旋转定位器上设置有接触式超声波换能器和注射装置,超声雾化沉积金属颗粒的装置还包括非接触式超声波换能器,非接触式超声波换能器设置两个,两个非接触式超声波换能器分别设置在箱体的两侧。本发明通过接触式超声波换能器或非接触式超声波换能器对基底沉积金属颗粒所需的金属溶液进行破碎雾化,实现基底上金属颗粒的均匀沉积,有效避免了传统镀膜方法中基底缺陷度增加、沉积不均匀等问题。
专利主权项内容
1.一种超声雾化沉积金属颗粒的装置,其特征在于,包括:箱体,所述箱体的顶部开设有通孔,所述箱体的底部设置有待沉积金属颗粒的基底,所述基底位于所述通孔的正下方;旋转定位器,所述旋转定位器可旋转的设置在所述箱体的顶部,所述旋转定位器上设置有接触式超声波换能器和注射装置,通过所述旋转定位器发生相对所述箱体的旋转,以使所述接触式超声波换能器或注射装置对准所述通孔,所述接触式超声波换能器上设有;当所述接触式超声波换能器对准所述通孔时,所述输液装置用于向所述箱体内的所述接触式超声波换能器上喷射基底沉积金属颗粒所需的金属溶液,所述接触式超声波换能器用于雾化所述输液装置喷射出的基底沉积金属颗粒所需的金属溶液,以实现对所述箱体底部的基底进行雾化沉积金属颗粒;当所述注射装置对准所述箱体的通孔并向所述箱体内喷射基底沉积金属颗粒所需的金属溶液时,所述超声雾化沉积金属颗粒的装置还包括非接触式超声波换能器,所述非接触式超声波换能器设置两个,两个所述非接触式超声波换能器分别设置在所述箱体的两侧,所述非接触式超声波换能器用于雾化所述注射装置喷射至所述箱体内的基底沉积金属颗粒所需的金属溶液,以实现对所述箱体底部的基底进行雾化沉积金属颗粒。