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掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质
申请人信息
- 申请人:深圳市龙图光罩股份有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市宝安区新桥街道象山社区新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房101
- 发明人: 深圳市龙图光罩股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410139101.0 |
| 申请日 | 2024/2/1 |
| 公告号 | CN117663990A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | G01B11/00 |
| 权利人 | 深圳市龙图光罩股份有限公司 |
| 发明人 | 郭成恩; 廖文超; 郑祺弘; 崔嘉豪; 白永智 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区新桥街道象山社区新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房101 |
摘要文本
本发明公开了一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，属于掩膜版技术领域。本发明通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测Pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。
专利主权项内容
1.一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述方法应用于掩膜版与薄膜贴合度检测装置，所述装置包括信号发射器和信号接收器以及定位转台，所述方法包括以下步骤：将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。