基于真空环境机械臂负载自适应方法及系统

专利主权项内容

1.基于真空环境机械臂负载自适应方法，其特征在于，包括：收集T时刻下机械臂在搬运晶圆过程中的负载监测数据，以及获取历史负载评估数据集合，根据预构建的负载学习模型获取未来T+a时刻下负载传感器的负载评估系数，所述负载监测数据包括实际负载数据和第一目标负载数据；a为大于零的整数；根据预测的负载评估系数确定T+a时刻下的负载传感器是否处于异常负载状态，若不处于异常负载状态，则机械臂继续以第一目标负载数据下对晶圆进行搬运，并令T=T+a+b，若处于异常负载状态，则获取T+a时刻下负载传感器的负载特征数据；b为大于零的整数；当负载传感器处于异常负载状态，记录执行器的扭矩值，根据负载特征数据和预构建的修正模型对执行器的扭矩值进行修正，并基于修正后的执行器的扭矩值确定机械臂的实际负载数据；所述负载特征数据包括执行器的电流和电机的转矩；计算第一目标负载数据与实际负载数据的负载差值，判断是否存在异常搬运，根据异常搬运将第一目标负载数据与实际负载数据输入预构建的负载修正模型，得到第二目标负载数据，机械臂根据第二目标负载数据进行晶圆搬运。