基于负载感知的晶圆搬运机械臂自适应吸力调节方法

专利主权项内容

1.基于负载感知的晶圆搬运机械臂自适应吸力调节方法，其特征在于，包括：步骤S1、获取吸盘吸附力、晶圆位置坐标和晶圆运动状态数据，晶圆运动状态数据包括晶圆搬运机械臂移动速度；步骤S2、根据负载感知传感器获取的吸盘吸附力、晶圆位置坐标和晶圆运动状态数据，设计自适应调节算法实时输出晶圆搬运机械臂设备的吸盘吸附力、晶圆位置坐标和晶圆运动状态数据对应的调整指令，所述自适应调节算法基于神经网络控制算法模型实现；步骤S3、根据神经网络控制算法模型在时刻实时输出的调整指令；确定第一机器学习模型的输入数据，训练第一机器学习模型输出实时移动速度调整加速度；确定第二机器学习模型的输入数据，训练第二机器学习模型输出吸盘吸附力调整速率；步骤S4、将实时的输入数据对应的输入训练完成的第一机器学习模型和第二机器学习模型，获得实时移动速度调整加速度与实时吸盘吸附力调整速率；步骤S5、根据实时移动速度调整加速度与实时吸盘吸附力调整速率进行吸盘吸附力、晶圆位置坐标以及晶圆搬运机械臂移动速度调整。