基于晶圆传送的多机械臂碰撞预警方法及系统

专利主权项内容

1.基于晶圆传送的多机械臂碰撞预警方法，所述方法应用于传送晶圆的双臂机械手，所述双臂机械手包括用于传送第一晶圆的机械臂A和用于传送第二晶圆的机械臂B，其特征在于，所述方法包括：S101：在T时刻下，获取待传送晶圆的晶圆序号，根据晶圆序号确定移动信息，所述移动信息包括第一晶圆和第二晶圆的晶圆轨迹数据，以及机械臂A和机械臂B的机械臂轨迹数据；S102：根据时刻T、晶圆轨迹数据、机械臂轨迹数据以及预构建的第一机器学习模型，分别获取第一晶圆和第二晶圆的停留数据，所述停留数据包括停留时间和停留坐标；S103：依据停留时间获取第一晶圆和第二晶圆之间的停留时差，判断停留时差是否大于预设停留时差阈值，若大于，则令T=T+M，并返回步骤S101；若小于等于，则判断第一晶圆的停留坐标和第二晶圆的停留坐标是否均属于同一翻转区域，若不是，则令T=T+M，并返回步骤S101；若是，则获取第一晶圆和第二晶圆的晶圆尺寸，以及获取机械臂A和机械臂B的翻转状态数据，T和M均为大于零的整数；S104：将第一晶圆停留坐标、第二晶圆停留坐标、第一晶圆的晶圆尺寸、第二晶圆的晶圆尺寸、机械臂A的翻转状态数据和机械臂B的翻转状态数据输入预构建的第二机器学习模型中，以获取第一晶圆和第二晶圆之间的最小晶圆间距；S105：获取安全间距阈值，根据最小晶圆间距与安全间距阈值获取碰撞预警结果，并基于碰撞预警结果控制机械臂A或机械臂B启停；所述碰撞预警结果包括“发生碰撞”字样和“不发生碰撞”字样。。（） （来 自 ）