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一种蒸发电极固定机构
申请人信息
- 申请人:深圳市镭煜科技有限公司
- 申请人地址:518107 广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区兴亿辉工业园3号101
- 发明人: 深圳市镭煜科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种蒸发电极固定机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420066513.1 |
| 申请日 | 2024/1/9 |
| 公告号 | CN222119366U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C14/26 |
| 权利人 | 深圳市镭煜科技有限公司 |
| 发明人 | 罗能铁 |
| 地址 | 广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区兴亿辉工业园3号101 |
摘要文本
本实用新型公开了一种蒸发电极固定机构，包括机架、石墨电极以及电极座，所述电极座呈圆柱设置，所述电极座穿设在所述机架上，所述电极座的一端通过电极连接机构与所述石墨电极连接，所述石墨电极设有连接座，所述连接座与所述电极连接机构连接，所述电极连接机构包括电极压板和电极固定座，所述电极压板通过固定件与所述电极座固定连接，所述石墨电极上设有多个容纳槽，所述容纳槽用于放置坩埚。通过采用了电极连接机构可以提供更好的散热效果，有效地将连接处的热量分散和传导，从而降低连接处的温度，减少石墨电极与极座之间的热应力，延长使用寿命。
专利主权项内容
1.一种蒸发电极固定机构，其特征在于，包括机架、石墨电极以及电极座，所述电极座呈圆柱设置，所述电极座穿设在所述机架上，所述电极座的一端通过电极连接机构与所述石墨电极连接，所述石墨电极设有连接座，所述连接座与所述电极连接机构连接，所述电极连接机构包括电极压板和电极固定座，所述电极压板通过固定件与所述电极座固定连接，所述石墨电极上设有多个容纳槽，所述容纳槽用于放置坩埚。