一种靶材连接组件

摘要文本

本实用新型公开了磁控溅射技术领域中的一种靶材连接组件，包括靶头，所述靶头的端部设置有可动法兰，所述可动法兰包括法兰部、环形部件，所述法兰部通过固定件与靶材连接，所述环形部件设置在所述法兰部的内侧，所述环形部件套设在所述靶头的外侧，且所述法兰部与所述环形部件滑动连接。本实用新型解决了现有的靶材与旋转靶头连接的螺钉容易断裂，更换频繁的问题，本实用新型在靶材与靶头之间存在同心度误差的情况下，可以通过法兰部与环形部件的相对滑动来抵消靶材和靶头旋转不同心产生的力，能够保证连接的稳定性，延长螺钉的使用寿命，减少更换螺钉的频率，提高生产效率。