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一种内置加热真空反应结构
申请人信息
- 申请人:捷造科技(宁波)有限公司
- 申请人地址:315615 浙江省宁波市宁海县桃源街道南岙路12号南岙高新产业园10号楼
- 发明人: 捷造科技(宁波)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种内置加热真空反应结构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420677965.3 |
| 申请日 | 2024/4/3 |
| 公告号 | CN222119388U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/50 |
| 权利人 | 捷造科技(宁波)有限公司 |
| 发明人 | 张迎春; 赵永飞; 白仁华 |
| 地址 | 浙江省宁波市宁海县桃源街道南岙路12号南岙高新产业园10号楼 |
摘要文本
本实用新型公开了一种内置加热真空反应结构，包括：真空环境和等离子激发系统，还包括内置的喷淋电极加热盒和内置的地电极加热盒，所述内置的喷淋电极加热盒通过布置在喷淋电极加热盒主体上的第一加热元件进行加热喷淋电极，所述第一加热元件通过第一固定板固定在喷淋电极加热盒主体上，所述内置的地电极加热盒通过布置在地电极上的第二加热元件，第三加热元件对地电极进行加热，所述第二加热元件通过第二固定板，第三加热元件通过第三固定板固定在地电极上。本实用新型的优点是：通过直接方式对内置的喷淋电极反应盒、地电极反应盒进行加热，利用一对电极之间的热辐射对封闭的反应区进行加热，解决了反应区硅片中心区和边缘温度不均匀的问题。 百度
专利主权项内容
1.一种内置加热真空反应结构，其特征在于，包括：真空环境和等离子激发系统，所述真空环境由真空室上盖板、真空室主体组成的水冷真空室、真空系统共同构成，所述等离子激发系统由RF/VHF系统、喷淋电极、地电极、接地共同构成，还包括内置的喷淋电极加热盒和内置的地电极加热盒，所述内置的喷淋电极加热盒通过布置在喷淋电极加热盒主体上的第一加热元件进行加热喷淋电极，所述第一加热元件通过第一固定板固定在喷淋电极加热盒主体上，所述内置的地电极加热盒通过布置在地电极上的第二加热元件，第三加热元件对地电极进行加热，所述第二加热元件通过第二固定板，第三加热元件通过第三固定板固定在地电极上，所述真空室上盖板的第一水冷通道由第一水冷盖板固定在真空室上盖板上形成，第二水冷盖板与第三水冷盖板固定在真空室主体上形成第二水冷通道，封闭的反应区包括固定喷淋电极、硅片和载板与可移动的地电极，所述地电极通过升降系统移动到可调节装置上。。更多数据：