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一种中心定位装置
申请人信息
- 申请人:上海探跃半导体设备有限公司
- 申请人地址:200000 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室
- 发明人: 上海探跃半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种中心定位装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420703912.4 |
| 申请日 | 2024/4/8 |
| 公告号 | CN222106617U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 田志龙; 李华 |
| 地址 | 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室 |
摘要文本
本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种中心定位装置，中心定位装置包括载具、第一超声波传感器、第二超声波传感器和驱动模组，两个第一超声波传感器平行设于载具的周侧，两个第一超声波传感器能同时检测自身与平边之间的距离；两个第二超声波传感器设于载具的周侧，两个第二超声波传感器能同时检测自身与圆弧边之间的距离；驱动模组与载具连接，驱动模组包括转动驱动装置和平移驱动装置，转动驱动装置用于驱动载具绕竖直方向转动，平移驱动装置用于驱动载具于水平面内移动。本实用新型提供的中心定位装置，可以快速对中晶圆，定位精度高，适用性强，可避免晶圆受损受污。
专利主权项内容
1.一种中心定位装置，应用于晶圆(10)的对中，所述晶圆(10)包括首尾相连的圆弧边(11)和平边(12)，其特征在于，所述中心定位装置包括：
载具(100)，用于装载所述晶圆(10)；
两个第一超声波传感器(200)，平行设于所述载具(100)的周侧，两个所述第一超声波传感器(200)能同时接收自身发射并经所述平边(12)反射的超声波以检测自身与所述平边(12)之间的距离；
两个第二超声波传感器(300)，设于所述载具(100)的周侧，两个所述第二超声波传感器(300)能同时接收自身发射并经所述圆弧边(11)反射的超声波以检测自身与所述圆弧边(11)之间的距离；
驱动模组(400)，与所述载具(100)连接，所述驱动模组(400)包括转动驱动装置(420)和平移驱动装置(410)，所述转动驱动装置(420)用于驱动所述载具(100)绕竖直方向转动，所述平移驱动装置(410)用于驱动所述载具(100)于水平面内移动。