一种晶圆片贴膜设备
申请人信息
- 申请人:珠海市中芯集成电路有限公司
- 申请人地址:519000 广东省珠海市香洲区福田路18号1栋1层103-019室(集中办公区)
- 发明人: 珠海市中芯集成电路有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆片贴膜设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420731892.1 |
| 申请日 | 2024/4/9 |
| 公告号 | CN222106618U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
| 发明人 | 吴俊; 袁志伟; 周永建 |
| 地址 | 广东省珠海市香洲区福田路18号1栋1层103-019室(集中办公区) |
摘要文本
本实用新型公开了一种晶圆片贴膜设备，涉及贴膜技术领域，包括机架；定位台和固定机构，定位台用于供不同规格的晶圆片放置，固定机构用于将不同规格的晶圆片固定于定位台上；放卷机构和压贴机构，放卷机构用于放卷整张薄膜，压贴机构设于放卷机构上；压贴机构能够将整张薄膜压贴至定位台上的晶圆片上；裁切机构和图像识别机构，图像识别机构用于识别定位台上的晶圆片的边缘，图像识别机构与裁切机构电性连接，以使裁切机构能够沿晶圆片的边缘裁切贴覆在晶圆片上的整张薄膜；收卷机构，收卷机构能够将裁切后的薄膜收卷。该晶圆片贴膜设备无需通过频繁的停机来适应不同规格的晶圆片，缩短了贴膜节拍，有利于提高晶圆片的贴膜效率。
专利主权项内容
1.一种晶圆片贴膜设备，其特征在于，包括：
机架；
定位台和固定机构，所述定位台可沿前后方向滑移地设于所述机架上，所述定位台用于供不同规格的晶圆片放置，所述固定机构设于所述定位台上，所述固定机构用于将不同规格的所述晶圆片固定于所述定位台上；
放卷机构和压贴机构，所述放卷机构可沿前后方向滑移地设于所述机架上，所述放卷机构用于放卷整张薄膜，所述压贴机构设于所述放卷机构上；
第一直线驱动机构，所述第一直线驱动机构能够驱使所述定位台向后移动至所述压贴机构的下方；
第二直线驱动机构，所述第二直线驱动机构能够驱使所述放卷机构和所述压贴机构向前移动，以使所述压贴机构能够将整张所述薄膜压贴至所述定位台上的所述晶圆片上，并使所述晶圆片的上表面贴覆有整张所述薄膜；
裁切机构和图像识别机构，所述图像识别机构用于识别所述定位台上的所述晶圆片的边缘，所述图像识别机构与所述裁切机构电性连接，以使所述裁切机构能够沿所述晶圆片的边缘裁切贴覆在所述晶圆片上的整张所述薄膜；
收卷机构和第三直线驱动机构，所述收卷机构可沿前后方向滑移地设于所述机架上，所述收卷机构设于所述放卷机构的后方，所述第三直线驱动机构能够驱使所述收卷机构在所述定位台的上方向前移动，以使所述收卷机构能够将裁切后的所述薄膜收卷。