← 返回列表
分片机构及自动上下料设备
申请人信息
- 申请人:拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市锡山区锡北东青河路3
- 发明人: 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 分片机构及自动上下料设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420822396.7 |
| 申请日 | 2024/4/18 |
| 公告号 | CN222106626U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 高建港; 于帅帅; 董雪迪; 林佳继 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号 |
摘要文本
本申请提供一种分片机构及自动上下料设备，分片机构包括：分片支架，分片支架的一侧形成有分片区，分片区位于取片区的上方；分片风管，固定设置于分片支架；分片风管朝向分片区的一侧设置有至少N‑个分片风口，N‑个分片风口依次排列；当N个吸盘于取片区吸附N个硅片，并经过分片区时，N‑个分片风口能够对N个硅片之间的贴合处进行吹气，以分离相互贴合的多个硅片。并且，分片风管的吹风位置可直吹硅片的中段，分片效果更佳。同时，分片风管在吹气过程中自身不需要移动，始终在同一个位置以相同的角度对各个硅片进行吹气，减少了吹气相对硅片的作用力方向的变化，降低了硅片在风力作用下移动、硅片损坏或掉落的风险，提高生产质量。
专利主权项内容
1.一种分片机构，其特征在于，应用于自动上下料设备，所述自动上下料设备包括舟移载装置和取放装置，所述舟移载装置包括舟移载平台、舟移载驱动组件以及所述分片机构，所述舟移载平台与所述舟移载驱动组件传动连接，所述舟移载驱动组件设有取片区，所述舟移载驱动组件用于驱使所述舟移载平台移进或移出所述取片区；所述舟移载平台用于放置装载多个硅片的承载舟；所述取放装置设有N个吸盘，N为正整数；
所述分片机构包括：
分片支架，所述分片支架的一侧形成有分片区，所述分片区位于所述取片区的上方；
分片风管，固定设置于所述分片支架；所述分片风管朝向所述分片区的一侧设置有至少N-个分片风口，N-个所述分片风口依次排列；
其中，当N个所述吸盘于所述取片区吸附N个所述硅片，并经过所述分片区时，N-个所述分片风口能够对N个所述硅片之间的贴合处进行吹气，以分离相互贴合的多个所述硅片。