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一种适应多种尺寸的晶圆扣双胞设备
申请人信息
- 申请人:山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 申请人地址:261061 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 发明人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种适应多种尺寸的晶圆扣双胞设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420650199.1 |
| 申请日 | 2024/4/1 |
| 公告号 | CN222106666U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 发明人 | 解华斌; 吴向龙 |
| 地址 | 山东省潍坊市高新区金马路9号 |
摘要文本
本实用新型涉及一种适应多种尺寸的晶圆扣双胞设备，属于半导体设备技术领域。设备包括外壳、调节滑轨、固定滑块、芯片环、限位环、电动推杆、伺服电机和工作块，其中，外壳顶部设置有贯穿圆孔，贯穿圆孔上对向两侧分别设置有固定滑块，2个固定滑块之间设置有2条调节滑轨，调节滑轨中部设置有卡槽，2条调节滑轨的卡槽内夹持有芯片环，贯穿圆孔下侧内嵌设置有限位环，限位环下方的外壳上设置有电动推杆，电动推杆输出轴上通过伺服电机托座设置有伺服电机，伺服电机输出轴上设置有工作块，工作块位于限位环内。本实用新型通过调节滑轨调整可以适应不同尺寸的芯片环，进而对多种尺寸的晶圆片进行扣双胞，适用范围广，使用简单，通用性强。 搜索
专利主权项内容
1.一种适应多种尺寸的晶圆扣双胞设备，其特征在于，包括外壳、调节滑轨、固定滑块、芯片环、限位环、电动推杆、伺服电机和工作块，其中，外壳顶部设置有贯穿圆孔，贯穿圆孔上对向两侧分别设置有固定滑块，2个固定滑块之间设置有2条调节滑轨，调节滑轨中部设置有卡槽，2条调节滑轨的卡槽内夹持有芯片环，贯穿圆孔下侧内嵌设置有限位环，限位环下方的外壳上设置有电动推杆，电动推杆输出轴上通过伺服电机托座设置有伺服电机，伺服电机输出轴上设置有工作块，工作块位于限位环内。