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一种小间距晶元的固定结构
申请人信息
- 申请人:深圳新益昌科技股份有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
- 发明人: 深圳新益昌科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种小间距晶元的固定结构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323573625.0 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN222106667U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 发明人 | 李小伟; 李顺文; 汪涛 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋 |
摘要文本
本实用新型公开了一种小间距晶元的固定结构,包括晶框以及晶环铁环,所述晶框为环形框,在所述晶框上设有一圈环形凹槽,所述晶环铁环连接于在所述环形凹槽内,所述晶环铁环与所述晶框通过磁吸连接;所述晶框的外侧设有锁紧扣,所述锁紧扣与所述晶环铁环抵接并用于将晶环铁环夹紧在晶框上;所述晶框内圈设有一圈凸台,所述凸台上表面高于所述环形凹槽的底部。通过设置晶框以及晶环铁环,晶环铁环四周通过磁吸材料固定在晶框,该晶环铁环为小间距晶元的晶环铁环的结构,不需扩膜,就可直接取固晶,结构简易效率高。晶环铁环可以通过磁性吸附在晶框上,将小间距晶元牢固地固定在晶框上,晶环铁环提供了稳定而可靠的固定,使得扩膜步骤不再需要。
专利主权项内容
关注 1.一种小间距晶元的固定结构,其特征在于,包括晶框以及晶环铁环,所述晶框为环形框,在所述晶框上设有一圈环形凹槽,所述晶环铁环连接于在所述环形凹槽内,所述晶环铁环与所述晶框通过磁吸连接;所述晶框的外侧设有锁紧扣,所述锁紧扣与所述晶环铁环抵接并用于将晶环铁环夹紧在晶框上;所述晶框内圈设有一圈凸台,所述凸台上表面高于所述环形凹槽的底部。