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一种小间距晶元的固定结构

申请号: CN202323573625.0
申请人: 深圳新益昌科技股份有限公司
申请日期: 2023/12/26

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种小间距晶元的固定结构
专利类型 实用新型
申请号 CN202323573625.0
申请日 2023/12/26
公告号 CN222106667U
公开日 2024/12/3
IPC主分类号 H01L21/687
权利人 深圳新益昌科技股份有限公司
发明人 李小伟; 李顺文; 汪涛
地址 广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋

摘要文本

本实用新型公开了一种小间距晶元的固定结构,包括晶框以及晶环铁环,所述晶框为环形框,在所述晶框上设有一圈环形凹槽,所述晶环铁环连接于在所述环形凹槽内,所述晶环铁环与所述晶框通过磁吸连接;所述晶框的外侧设有锁紧扣,所述锁紧扣与所述晶环铁环抵接并用于将晶环铁环夹紧在晶框上;所述晶框内圈设有一圈凸台,所述凸台上表面高于所述环形凹槽的底部。通过设置晶框以及晶环铁环,晶环铁环四周通过磁吸材料固定在晶框,该晶环铁环为小间距晶元的晶环铁环的结构,不需扩膜,就可直接取固晶,结构简易效率高。晶环铁环可以通过磁性吸附在晶框上,将小间距晶元牢固地固定在晶框上,晶环铁环提供了稳定而可靠的固定,使得扩膜步骤不再需要。

专利主权项内容

关注 1.一种小间距晶元的固定结构,其特征在于,包括晶框以及晶环铁环,所述晶框为环形框,在所述晶框上设有一圈环形凹槽,所述晶环铁环连接于在所述环形凹槽内,所述晶环铁环与所述晶框通过磁吸连接;所述晶框的外侧设有锁紧扣,所述锁紧扣与所述晶环铁环抵接并用于将晶环铁环夹紧在晶框上;所述晶框内圈设有一圈凸台,所述凸台上表面高于所述环形凹槽的底部。