汽化系统以及薄膜沉积设备

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拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于薄膜沉积制备技术领域，公开了一种汽化系统以及薄膜沉积设备，汽化系统包括用于储存液态前驱体的储源件、用于输出载气的载气件和汽化器；汽化器与储源件之间通过第一管路连通，第一管路安装有第一流量检测件，第一流量检测件用于检测通入汽化器的前驱体的流量，汽化器与载气件之间通过第二管路连通，汽化器用于通过第一管路接收前驱体，以及通过第二管路接收载气；汽化器的输出口连通于反应腔室；汽化器用于将液态的前驱体汽化为反应气体，将携带有反应气体的载气通入反应腔室。该汽化系统提高了对前驱体流量检测的准确性；同时避免出现烘焙汽化方法对控制阀、管路等结构造成的高温损坏的风险，提高了汽化系统的使用寿命。