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喷淋装置以及沉积设备
摘要文本
江苏首芯半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请实施例提供了一种喷淋装置以及沉积设备，喷淋装置包括：喷淋板，喷淋板具有N个喷淋孔，每个喷淋孔均沿喷淋板的厚度方向贯穿喷淋板；第一垫板，第一垫板具有N个第一通孔，每个第一通孔均沿第一垫板的厚度方向贯穿第一垫板；第二垫板，第二垫板具有N个第二通孔，每个第二通孔均沿第二垫板的厚度方向贯穿第二垫板；第一垫板与第二垫板层叠设置于喷淋板一侧的表面，第一通孔与第二通孔一一对应，且每个第一通孔与相对应的第二通孔至少部分重叠构成调节孔，调节孔与相应的喷淋孔正对，第一垫板相对于第二垫板移动，以改变调节孔的孔径，其中，N为大于1的整数。本申请实施例至少有利于降低沉积设备的制造成本。 （更多数据，详见马克数据网）
专利主权项内容
1.一种喷淋装置，其特征在于，包括：
喷淋板，所述喷淋板具有N个喷淋孔，每个所述喷淋孔均沿所述喷淋板的厚度方向贯穿所述喷淋板；
第一垫板，所述第一垫板具有N个第一通孔，每个所述第一通孔均沿所述第一垫板的厚度方向贯穿所述第一垫板；
第二垫板，所述第二垫板具有N个第二通孔，每个所述第二通孔均沿所述第二垫板的厚度方向贯穿所述第二垫板；
所述第一垫板与所述第二垫板层叠设置于所述喷淋板一侧的表面，所述第一通孔与所述第二通孔一一对应，且每个所述第一通孔与相对应的所述第二通孔至少部分重叠构成调节孔，所述调节孔与相应的所述喷淋孔正对，所述第一垫板相对于所述第二垫板移动，以改变所述调节孔的孔径，其中，N为大于1的整数。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 喷淋装置以及沉积设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420806683.9 |
| 申请日 | 2024/4/17 |
| 公告号 | CN222100144U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | C23C16/455 |
| 权利人 | 江苏首芯半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 张俊; 周纬; 朱顺利; 李继刚 |
| 地址 | 江苏省无锡市江阴市东盛路8号 |