一种晶圆的反应腔室

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上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆的反应腔室，包括腔体；设于所述腔体内的罩体，所述罩体靠近所述腔体的底部设置并遮挡所述腔体的底部，所述罩体具有倾斜壁和抽吸孔，所述倾斜壁设置在所述罩体的侧表面，所述倾斜壁的高度从所述腔体的边缘至所述腔体的中心方向逐渐增大，所述抽吸孔设于所述罩体的边缘，用于吸除从所述倾斜壁滑落的污染颗粒。本实用新型提供的反应腔室，其内设有罩体，且具有倾斜壁和抽吸孔，以使落在倾斜壁上的污染颗粒会滑落至抽吸孔，最后在抽吸力作用下从反应腔室内清除，避免了污染颗粒在腔体底部的积累，保证了晶圆具有一个干净的反应环境，提高了晶圆反应的稳定性。 来自马克数据网