一种用于真空镀膜的排废气系统

专利主权项内容

1.一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于，包括：
第一反应腔室；
第一真空泵，所述第一真空泵的进气口设置有与所述第一反应腔室相连通的第一进气管道，所述第一进气管道设置有能够自动开启或关闭所述第一进气管道的第一气动开关阀，所述第一进气管道设置有第一手动开关阀，所述第一手动开关阀位于所述第一气动开关阀与所述第一真空泵之间，所述第一真空泵的出气口设置有第一排气通道，所述第一排气通道设置有第二手动开关阀；
第一辅助连接管，所述第一辅助连接管的一端与所述第一手动开关阀可拆卸连接，所述第一辅助连接管的另一端与所述第二手动开关阀可拆卸连接；
其中，所述第一手动开关阀能够控制所述第一进气管道和所述第一辅助连接管相互连通或相互断开，所述第二手动开关阀能够控制所述第一排气通道与所述第一辅助连接管相互连通或相互断开。