一种用于合成碳化硅的坩埚结构

摘要文本

苏州清研半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及碳化硅粉料合成技术领域，特别涉及一种用于合成碳化硅的坩埚结构；包括内层石墨坩埚体，包括围合形成第一内腔室的第一底部锅体、第一侧部锅体、第一顶部锅体；外层石墨坩埚体，套设在内层坩埚体的外部，包括围合形成第二腔室的第二底部锅体、第二侧部锅体、第二顶部锅体；第一底部锅体和第二底部锅体之间围合形成底部空间，第一侧部锅体和第二侧部锅体围合形成侧部空间，第一顶部锅体和第二顶部锅体围合形成顶部空间；第二底部锅体、第二侧部锅体、第二顶部锅体的外壁满铺保温材料；本实用新型中一种用于合成碳化硅的坩埚结构，使得碳化硅粉料合成期间具有稳定均匀温度场，促进粉料合成反应能一次完成，得到粒径均匀的碳化硅粉料。