一种碳化硅长晶余料再利用的长晶装置

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深圳市国碳半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种碳化硅长晶余料再利用的长晶装置，包括坩埚，所述坩埚外表面的上端螺纹连接有石墨盖，所述坩埚内腔的中端放置有支撑挡板，所述支撑挡板的底部与坩埚内腔的下端之间填充有碳化硅粉。本实用新型通过利用不同规格的第一长晶余料、第二长晶余料和第三长晶余料再次长晶，解决了余料处理成本高和回收难的问题，并且节约了碳化硅粉的用量，减少了原料的消耗，起到降低成本的效果，同时通过将不同规格的第一长晶余料、第二长晶余料、第三长晶余料和碳化硅粉、硅粉等按照一定的比例和位置搭配填充于坩埚内作为长晶原料，能平衡碳化硅粉长晶过程中气相组分里的Si/C的比例，保证长晶过程平稳进行。