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显影机专利列表

一种涂胶显影机及其涂胶机构

实用新型

申请号: CN202420997734.0

申请人: 南方华创半导体(无锡)有限公司

专利类型: 实用新型

基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统

发明申请

申请号: CN202410048575.4

申请人: 江苏雷博微电子设备有限公司

专利类型: 发明申请

一种可调节气体过滤装置及涂胶显影机

发明申请

申请号: CN202311548196.3

申请人: 合肥开悦半导体科技有限公司

专利类型: 发明申请