本实用新型公开了一种全柔性热释电红外探测器，涉及热释电传感器结构设计领域，包括柔性红外辐射调制机构以及柔性红外敏感单元；所述柔性红外辐射调制机构为单端或双端支撑金属薄膜悬臂梁，通过在悬臂梁与柔性红外敏感单元上电极层之间施加一定频率的电压信号，悬臂梁可按相应频率在一定范围内上下运动，从而与柔性红外敏感单元上表面周期性地分离、接触，以此实现对红外辐射调制；本实用新型解决了现有热释电红外探测器采用机械斩波器而难以实现集成化和柔性化的难题，使得热释电红外探测器可应用于可穿戴电子设备如柔性温度传感器，柔性红外热像仪。

黎威志 张靖新 袁志华 张希仁 游延军

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本实用新型公开了一种全柔性热释电红外探测器，涉及热释电传感器结构设计领域，包括柔性红外辐射调制机构以及柔性红外敏感单元；所述柔性红外辐射调制机构为单端或双端支撑金属薄膜悬臂梁，通过在悬臂梁与柔性红外敏感单元上电极层之间施加一定频率的电压信号，悬臂梁可按相应频率在一定范围内上下运动，从而与柔性红外敏感单元上表面周期性地分离、接触，以此实现对红外辐射调制；本实用新型解决了现有热释电红外探测器采用机械斩波器而难以实现集成化和柔性化的难题，使得热释电红外探测器可应用于可穿戴电子设备如柔性温度传感器，柔性红外热像仪。