本公开提供了一种半导体封装结构,所述半导体封装结构包含:衬底;第一管芯,所述第一管芯位于所述衬底上,其中所述第一管芯的主动表面背对所述衬底;第二管芯,所述第二管芯位于所述第一管芯的所述主动表面上,所述第二管芯通过多个导电端子电连接到所述第一管芯;以及密封结构,所述密封结构位于所述第一管芯的所述主动表面上,所述密封结构围绕所述多个导电端子并且邻接所述第二管芯,由此在所述第一管芯与所述第二管芯之间形成腔。
还提供了一种用于制造半导体封装结构的方法。
曾吉生 赖律名 柳辉忠
日月光半导体制造股份有限公司
中国台湾高雄市楠梓加工区经三路26号邮编81170
本公开提供了一种半导体封装结构,所述半导体封装结构包含:衬底;第一管芯,所述第一管芯位于所述衬底上,其中所述第一管芯的主动表面背对所述衬底;第二管芯,所述第二管芯位于所述第一管芯的所述主动表面上,所述第二管芯通过多个导电端子电连接到所述第一管芯;以及密封结构,所述密封结构位于所述第一管芯的所述主动表面上,所述密封结构围绕所述多个导电端子并且邻接所述第二管芯,由此在所述第一管芯与所述第二管芯之间形成腔。
还提供了一种用于制造半导体封装结构的方法。