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专利摘要

本实用新型公开了一种掺杂装置用石英杯吊装结构,包括掺杂罐,所述掺杂罐为中空结构,掺杂罐的顶端内壁上焊接有安装座,安装座的底端开设有连接杆槽,连接杆槽内滑动安装有连接杆,且连接杆的一端延伸至连接杆槽外,连接杆的底端连接有石英杯,安装座的两侧均开设有定位通孔,定位通孔与连接杆槽连通,定位通孔内滑动安装有定位卡块,且定位卡块的一端延伸至定位通孔外,定位卡块位于定位通孔外的一端焊接有推板,定位卡块外套设有第一弹簧,第一弹簧的一端焊接在推板上。
本实用新型结构简单,使用方便,可以将石英杯快速拆装,操作容易,缩短时间,增加了稳定性和安装性。

专利状态

基础信息

专利号
CN201721273625.0
申请日
2017-09-29
公开日
2018-06-12
公开号
CN207483906U
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

范桂林 李茂欣

申请人

上海磐盟电子材料有限公司

申请人地址

201611 上海市松江区长塔路399号2幢

专利摘要

本实用新型公开了一种掺杂装置用石英杯吊装结构,包括掺杂罐,所述掺杂罐为中空结构,掺杂罐的顶端内壁上焊接有安装座,安装座的底端开设有连接杆槽,连接杆槽内滑动安装有连接杆,且连接杆的一端延伸至连接杆槽外,连接杆的底端连接有石英杯,安装座的两侧均开设有定位通孔,定位通孔与连接杆槽连通,定位通孔内滑动安装有定位卡块,且定位卡块的一端延伸至定位通孔外,定位卡块位于定位通孔外的一端焊接有推板,定位卡块外套设有第一弹簧,第一弹簧的一端焊接在推板上。
本实用新型结构简单,使用方便,可以将石英杯快速拆装,操作容易,缩短时间,增加了稳定性和安装性。

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