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专利摘要

一种可视三温区硒化镓单晶生长装置及生长方法,它涉及晶体的生长装置及生长方法。
本发明是要解决现有的坩埚下降法生长的硒化镓单晶应力分布不均匀、透过率低的技术问题。
本发明的置包括外套筒、内套筒、加热电阻丝、环形腔、反射膜、测温热电偶、端盖和保温塞;其中反射膜附于外套筒的内壁;透明材质的外套筒和内套筒之间的环形腔为真空腔,加热电阻丝设置在环形腔中。
方法:将硒化镓籽晶放在PBN舟中,并悬空倾斜密封于真空石英管中,将石英管放在生长装置中部,调节三个温区的温度梯度,先将籽晶部分熔化且多晶料全部熔化,然后再降温固化,最后降至室温,得到硒化镓单晶,该单晶的透过率达到64%~66%,可用于民用和国防领域。

专利状态

基础信息

专利号
CN201811181541.3
申请日
2018-10-11
公开日
2021-04-06
公开号
CN109161970B
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

朱崇强 陈亮 杨春晖 马天慧 雷作涛 郝树伟

申请人

哈尔滨工业大学

申请人地址

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

专利摘要

一种可视三温区硒化镓单晶生长装置及生长方法,它涉及晶体的生长装置及生长方法。
本发明是要解决现有的坩埚下降法生长的硒化镓单晶应力分布不均匀、透过率低的技术问题。
本发明的置包括外套筒、内套筒、加热电阻丝、环形腔、反射膜、测温热电偶、端盖和保温塞;其中反射膜附于外套筒的内壁;透明材质的外套筒和内套筒之间的环形腔为真空腔,加热电阻丝设置在环形腔中。
方法:将硒化镓籽晶放在PBN舟中,并悬空倾斜密封于真空石英管中,将石英管放在生长装置中部,调节三个温区的温度梯度,先将籽晶部分熔化且多晶料全部熔化,然后再降温固化,最后降至室温,得到硒化镓单晶,该单晶的透过率达到64%~66%,可用于民用和国防领域。

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