目录

专利摘要

本发明公开了一种石英管固定装置及其应用方法。
本发明石英管固定装置包括第一石英管和与其开口端卡接密封的卡头,卡头包括冷却液空腔和设有调节阀的第一真空管道,冷却液空腔设有冷却液进口和冷却液出口,第一真空管道与所述第一石英管连通。
本发明采用卡头卡接密封石英管,避免了对石英管进行密封焊接和切割,使石英管能重复使用;本发明石英管固定装置能用于真空加热去除高纯石墨表面的砷单质,防止高纯石墨因石英管的焊接和切割而被污染。

专利状态

基础信息

专利号
CN202010998203.X
申请日
2020-09-21
公开日
2021-01-26
公开号
CN112267148A
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

吕新杨 易明辉 刘建忠 周铁军

申请人

广东先导先进材料股份有限公司

申请人地址

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区

专利摘要

本发明公开了一种石英管固定装置及其应用方法。
本发明石英管固定装置包括第一石英管和与其开口端卡接密封的卡头,卡头包括冷却液空腔和设有调节阀的第一真空管道,冷却液空腔设有冷却液进口和冷却液出口,第一真空管道与所述第一石英管连通。
本发明采用卡头卡接密封石英管,避免了对石英管进行密封焊接和切割,使石英管能重复使用;本发明石英管固定装置能用于真空加热去除高纯石墨表面的砷单质,防止高纯石墨因石英管的焊接和切割而被污染。

相似专利技术