本实用新型提供一种基板台、沉积部和微波等离子化学气相沉积装置，该基板台包括基板、两个以上热电偶、两个以上加热单元和控制单元；所述基板底部设有两个以上凹槽，所述热电偶和所述加热单元设于所述凹槽内；所述控制单元与所述热电偶和所述加热单元连通。
本实用新型降低基板的温差，使其更适合多晶或单晶的制备。

王垒 温简杰

上海昌润极锐超硬材料有限公司

201111 上海市闵行区陪昆路206号第18幢101室

本实用新型提供一种基板台、沉积部和微波等离子化学气相沉积装置，该基板台包括基板、两个以上热电偶、两个以上加热单元和控制单元；所述基板底部设有两个以上凹槽，所述热电偶和所述加热单元设于所述凹槽内；所述控制单元与所述热电偶和所述加热单元连通。
本实用新型降低基板的温差，使其更适合多晶或单晶的制备。