一种磷化铟衬底和制造磷化铟衬底的方法。
磷化铟衬底具有第一和第二主表面；第一主表面在中心位置处具有表面粗糙度Ra1，在四个位置处具有表面粗糙度Ra2至Ra5，四个位置沿第一主表面的外边缘等距地布置且位于从外边缘向内5mm的距离处，表面粗糙度Ra1至Ra5的平均值m1是0.4nm或更小并且标准偏差σ1是平均值m1的10％或更小；第二主表面在中心位置处具有表面粗糙度Ra6，在四个位置处具有表面粗糙度Ra7至Ra10，四个位置沿第二主表面的外边缘等距地布置且位于从外边缘向内5mm的距离处，表面粗糙度Ra6至Ra10的平均值m2是大于0.4nm且3nm或更小并且标准偏差σ2是平均值m2的10％或更小。

藤原新也 樋口恭明

住友电气工业株式会社

日本大阪府大阪市

一种磷化铟衬底和制造磷化铟衬底的方法。
磷化铟衬底具有第一和第二主表面；第一主表面在中心位置处具有表面粗糙度Ra1，在四个位置处具有表面粗糙度Ra2至Ra5，四个位置沿第一主表面的外边缘等距地布置且位于从外边缘向内5mm的距离处，表面粗糙度Ra1至Ra5的平均值m1是0.4nm或更小并且标准偏差σ1是平均值m1的10％或更小；第二主表面在中心位置处具有表面粗糙度Ra6，在四个位置处具有表面粗糙度Ra7至Ra10，四个位置沿第二主表面的外边缘等距地布置且位于从外边缘向内5mm的距离处，表面粗糙度Ra6至Ra10的平均值m2是大于0.4nm且3nm或更小并且标准偏差σ2是平均值m2的10％或更小。